EcoEpi-Wet

EcoEpi-Wet

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SERIES / 系列
Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程
MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號
EcoEpi-Wet
CAPACITY / 處理能力
1600, 2500, 3200slm